Potovalni razpon
20 mm
Resolucija
0,125 μm
Ponovljivost
＜1 μm
Naravnost
＜2 μm
Paralelizem
＜5 μm
Pitching
10″（50 μrad）
nihanje
Največja hitrost
5 mm/sek
Nosilnost
10 kg
Utež
1,5 kg
